Chimie en microélectronique

La microélectronique est un monde complexe dans lequel plusieurs sciences
comme la physique, l’électronique, l’optique ou la mécanique, contribuent à
créer des nano-objets fonctionnels. La chimie est particulièrement impliquée
dans de nombreux domaines tels que la synthèse des matériaux, la pureté des
fluides, des gaz, des sels, le suivi des réactions chimiques et de leurs
équilibres ainsi que la préparation de surfaces optimisées et la gravure
sélective de couches spécifiques. Au cours des dernières décennies, la taille
des transistors s’est considérablement réduite et la fonctionnalité des
circuits électroniques s’est accrue. Cette évolution a conduit à une
interpénétration de la chimie et de la microélectronique exposée dans cet
ouvrage.

Chimie en microélectronique présente les chimies et les séquences utilisées
lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages
jusqu’aux gravures des plaquettes de silicium, du rôle et de l’impact de leur
niveau de pureté jusqu’aux procédés d’interconnexion des millions de
transistors composant un circuit électronique. Afin d’illustrer la convergence
avec le domaine de la santé, l’ouvrage expose les nouvelles
fonctionnalisations spécifiques, tels que les capteurs biologiques ou les
capteurs sur la personne.